項目名稱:蘇州晶瑞化學股份有限公司
項目系統(tǒng):廢氣處理控制系統(tǒng)
廢氣處理模式:活性炭凈化
項目介紹: 蘇州晶瑞化學股份有限公司是一家生產(chǎn)銷售微電子業(yè)用超純化學材料和其他精細化工產(chǎn)品的上市企業(yè)。品種包括氫氟酸、過氧化氫、氨水、鹽酸、硫酸、硝酸、異丙醇、冰醋酸、混合酸(硅腐蝕液、鋁腐 蝕液、鉻腐蝕液、BOE、金蝕刻液)氫氧化鉀、氫氧化鈉、配套試劑等。目前主要產(chǎn)品的純度為,單項金屬雜質(zhì)含量小于0.1ppb。產(chǎn)品廣泛應用于超大規(guī)模集成電路、LED、TFT-LCD面板制造過程、太陽能硅片的蝕刻與清洗。
參與的配套產(chǎn)品:變頻控制柜、PLC控制柜、防爆箱、上位機組態(tài)監(jiān)控系統(tǒng)。
本次項目昆山川浦機電有限公司作為優(yōu)秀控制柜配套廠商,參與了廢氣處理系統(tǒng)的設(shè)計與制作。
本次廢氣處理系統(tǒng)為活性炭處理系統(tǒng)
控制設(shè)備主要有提升泵、循環(huán)泵、加藥泵、風機、電動閥、電磁閥等
本次項目采用了西門子S7-200PLC系統(tǒng),確保整套廢氣處理系統(tǒng)穩(wěn)定的運行。
圖控系統(tǒng)(SCADA)功能包括所有設(shè)備啟 /停、系統(tǒng)設(shè)定值改變、控制 /監(jiān)視重要參數(shù)、趨勢圖、實時警報、歷史數(shù)據(jù)記錄、統(tǒng)計及打印。
圖控軟件:亞控組態(tài)王6.55
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